更新时间：2026-08-19
简要描述：
HBM/MM探针台元器件静电放电测试系统是专门为半导体器件及 IC 的抗静电测试而设计，参照国家标准 GJB 548C-2021方法 3015 、 国家标准 GJB128A-97 方法 1020 、MIL-STD-883D、EIAJED-4701 的测试要求。系统集成手动探针台、高精密数字源表，系统可以自动测试器件或者IC芯片，显示IV曲线，判断器件的测试结果
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子/电池,电气 |
HBM/MM探针台元器件静电放电测试系统介绍：
1.2、设备使用电源要求：
Ø 输入电压：单项 AC220V±10%(,中国大陆)
Ø 频率：50/60Hz
Ø 相数：单项三线制（L-N-PE)
Ø 电压分辨率：1V
Ø 输出电压波形分辨率≤5%
Ø 总功率： 600w
1.3、设备主要功能和特点：
Ø 符合并超越GJB 548BC-2021和
GJB128A-97最新标准相关要求；
Ø 电脑操作控制、操作方便；
Ø 采用进口程控高压电源，性能稳定；
Ø 内置探针台、源表可以测试万直接显示测试结果。
1.4、设备使用环境要求
Ø户内使用；
Ø海拔高度不超过1000米；
Ø环境温度为－10℃～＋40℃；
Ø相对湿度不大于85％；
Ø无导电尘埃、无火灾及爆炸危险、无腐蚀金属和绝缘的气体
Ø电源电压波形为正弦波,波形畸变率<5%；
Ø接地电阻不大于0.5Ω；
1.5、设备设计制造依照标准
Ø GJB548B
Ø
GJB128A-97
Ø MIL-STD-883D、
Ø EIAJED-4701
Ø ANSI/ESD STM5.1
Ø ANSI/ESD STM5.2、
Ø EIA/JESD22-A114-B
Ø EIA/JESD22-A115-A
1.6、产品简介：
HBM/MM探针台元器件静电放电测试系统是专门为半导体器件及 IC 的抗静电测试而设计，参照国家标准 GJB 548C-2021 方法 3015 、 国家标准 GJB128A-97 方法 1020 、MIL-STD-883D、EIAJED-4701 的测试要求。系统集成手动探针台、高精密数字源表，系统可以自动测试器件或者IC芯片，显示IV曲线，判断器件的测试结果。
1.7、产品参数
静电主机参数 | ||
模式 | 人体模式 HBM | 机械模式 MM |
放电网络 | 100PF/1500Ω | 200PF/0Ω |
输出电压 | 5V～±8000V（50V～8KV：5%±5V） | 5～±2000V，(25V～2000V：5%±5V) |
电压分辨率 | 10V | |
频率 | 0.1 Hz～1 Hz | |
放电次数设定 | 1 ～ 9999C | |
上升时间 | 2 ns～10 ns （短路） 5 ns～25 ns （500Ω) | - |
脉冲宽度 | 150 ns ±20 ns | - |
峰值电流 Ips（A） | 0.15-0.18 @250 V 0.30-0.37 @500 V 0.60-0.73 @1000 V 1.20-1.47 @2000 V 2.40-2.93 @4000 V 4.80-5.87 @8000 V | 1.5-2.0 @100 V 2.8-3.8 @200 V 5.8-8.0 @400 V |
输出电压极性 | 正 / 负，先正后负，先负后正 | |
工作形式 | 放电时间间隔可以设置在 1 ～ 9.9s 之间 | |
触发方式 | 自动，手动，外触发 | |
探针台参数 | ||
探针台主体 | 1、样品台直径：105mm，采用中心吸附孔吸附样品，三路独立真空开关，中心、2寸、4寸范围 2、样品台 XY的移动行程：100x100mm，移动精度：10微米 3、样品台配BNC同轴母头为背电极接口 4、XY采用丝杆匹配线性导轨 5、样品台采用平整底座，且平坦度误差＜ 20um 6、立柱式显微镜固定 7、U型针座平台，45号钢材质，表面镀镍，四点小支柱固定 | |
体视显微镜 | 1、三目体式显微镜 2、变焦： 0.67 倍 ~4.5倍 ，目镜：20X 总放大倍率： 13 倍 ~90 倍 3、双目观察倾斜 45 度，双瞳距调节范围 52-75mm，倾斜360°旋转 4、显微镜在Z 轴方向的调节范围： > 50.8mm ，调节精度小于 2 微米 5、工作距离:115mm 变倍比：1:6.7 6、最小分辨率 ≦2um 7、带外置LED高亮无极调节亮度环形光源 8、支持升级CCD影像系统 | |
静电主机参数 | ||
模式 | 人体模式 HBM | 机械模式 MM |
放电网络 | 100PF/1500Ω | 200PF/0Ω |
输出电压 | 5V～±8000V（50V～8KV：5%±5V） | 5～±2000V，(25V～2000V：5%±5V) |
电压分辨率 | 10V | |
频率 | 0.1 Hz～1 Hz | |
放电次数设定 | 1 ～ 9999C | |
上升时间 | 2 ns～10 ns （短路） 5 ns～25 ns （500Ω) | - |
脉冲宽度 | 150 ns ±20 ns | - |
峰值电流 Ips（A） | 0.15-0.18 @250 V 0.30-0.37 @500 V 0.60-0.73 @1000 V 1.20-1.47 @2000 V 2.40-2.93 @4000 V 4.80-5.87 @8000 V | 1.5-2.0 @100 V 2.8-3.8 @200 V 5.8-8.0 @400 V |
输出电压极性 | 正 / 负，先正后负，先负后正 | |
工作形式 | 放电时间间隔可以设置在 1 ～ 9.9s 之间 | |
触发方式 | 自动，手动，外触发 | |
探针台参数 | ||
探针台主体 | 1、样品台直径：105mm，采用中心吸附孔吸附样品，三路独立真空开关，中心、2寸、4寸范围 2、样品台 XY的移动行程：100x100mm，移动精度：10微米 3、样品台配BNC同轴母头为背电极接口 4、XY采用丝杆匹配线性导轨 5、样品台采用平整底座，且平坦度误差＜ 20um 6、立柱式显微镜固定 7、U型针座平台，45号钢材质，表面镀镍，四点小支柱固定 | |
体视显微镜 | 1、三目体式显微镜 2、变焦： 0.67 倍 ~4.5倍 ，目镜：20X 总放大倍率： 13 倍 ~90 倍 3、双目观察倾斜 45 度，双瞳距调节范围 52-75mm，倾斜360°旋转 4、显微镜在Z 轴方向的调节范围： > 50.8mm ，调节精度小于 2 微米 5、工作距离:115mm 变倍比：1:6.7 6、最小分辨率 ≦2um 7、带外置LED高亮无极调节亮度环形光源 8、支持升级CCD影像系统 | |
19901806596
上海市松江区盛龙路77号
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